RTP快速退火爐是我公司自主研發(fā)的功能強大的加熱設(shè)備。RTP快速退火爐采用進口紅外加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動，可實現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸120mm，可以直接放下4英寸的材料，試樣反應(yīng)區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時也大大降低了間接污染試樣的可能性。設(shè)備配備LCD高清觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)實驗操作均為圖文界面，操作方便快捷易上手，能夠大大提高您的實驗效率。設(shè)備預(yù)留了真空和氣路的快速接口，可以選購我們的真空系統(tǒng)和混氣系統(tǒng)一起使用。

RTP快速退火爐應(yīng)用領(lǐng)域：

  快速退火爐設(shè)備，可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴散、化合物半導(dǎo)體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點分析、薄膜沉積等。

RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	RTP快速退火爐
型號	CY-RTP1200-Φ120-400-200℃/s
爐管規(guī)格	內(nèi)徑120mm，加熱溫區(qū)400mm，總長度550mm 材質(zhì)：高純石英
升溫速率	200℃/s  380V
加熱元件	鹵素?zé)?/span>
真空接口	KF16
進氣接口	寶塔頭 搭配外徑8mm導(dǎo)氣軟管使用
法蘭規(guī)格	φ120不銹鋼真空法水冷法蘭 水冷接口：φ8mm快插接頭
真空系統(tǒng)	雙極旋片泵 抽速1.1L/s 極限真空度： 10-1Pa
溫控系統(tǒng)	智能溫控表控溫 帶有超溫保護 測溫：K型熱電偶
水冷機	水箱容量9L，*大揚程10m
電源要求	380V 50Hz，18kW
外形尺寸	1200mm x 610mm x 570mm

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