RTP快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸120MM，可以直接放下4英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)，也大大降低了間接污染試樣的可能性。

主要功能和特點(diǎn):

1、可視化7寸觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面，操作方便;

2、爐體配備高精度移動(dòng)平臺(tái)，運(yùn)行平穩(wěn)無(wú)抖動(dòng);

3、爐管可自由移動(dòng)，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;當(dāng)爐管移出爐膛時(shí)冷確風(fēng)扇啟動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求;

4、爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成，采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，使用壽命可達(dá)5000小時(shí)，升溫速度快，*高溫度可達(dá)1050℃。

5、預(yù)留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;

6、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口，可通過(guò)我司專用軟件，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能;

7、設(shè)置超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作可靠。

主要用途和適用范圍:

  用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。

主要技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	RTP快速退火爐
型號(hào)	CY-RTP1200-Φ120-400-200℃/s
爐管規(guī)格	內(nèi)徑120mm，加熱溫區(qū)400mm，總長(zhǎng)度550mm 材質(zhì)：高純石英
升溫速率	200℃/s  380V
加熱元件	鹵素?zé)?/span>
真空接口	KF16
進(jìn)氣接口	寶塔頭 搭配外徑8mm導(dǎo)氣軟管使用
法蘭規(guī)格	φ120不銹鋼真空法水冷法蘭 水冷接口：φ8mm快插接頭
真空系統(tǒng)	雙極旋片泵 抽速1.1L/s 極限真空度： 10-1Pa
溫控系統(tǒng)	智能溫控表控溫 帶有超溫保護(hù) 測(cè)溫：K型熱電偶
水冷機(jī)	水箱容量9L，*大揚(yáng)程10m
電源要求	380V 50Hz，18kW
外形尺寸	1200mm x 610mm x 570mm